Karakterisasi Lapisan Titanium Nitrida yang Dideposisi dengan Metode Sputtering pada Baja Aisi 410

Salahudin, Dkk., Xander
Journal article Jurnal Penelitian Inovasi • Februari 2014

Unduh teks lengkap
(Bahasa Indonesia, 13 pages)

Abstrak

Baja AISI 410 banyak digunakan untuk peralatan kedokteran, namun ketahanan korosi baja tahan karat martensitik berada pada tingkat menengah (memiliki ketahanan korosi yang buruk jika dibandingkan dengan baja tahan karat yang lain). Peningkatan sifat mekanik dan korosi baja AISI 410 dapat dilakukan dengan modifikasi permukaan logam. Penelitian ini menggunakan titanium nitrida sebagai bahan pelapis, karena titanium nitrida memiliki kekerasan yang tinggi, ketahanan korosi yang baik, dan biocompatible. Tujuan dari penelitian ini yaitu mengetahui pengaruh variasi waktu pelapisan terhadap karakteristik lapisan titanium nitrida yang dihasilkan setelah proses sputtering. Proses pelapisan titanium nitrida dilakukan dengan kuat arus 80 mA, tegangan rata-rata 0,4 kV, jarak antara substrat dan bahan target yaitu 12 mm, tekanan 4 x 10-2 torr dan perbandingan gas Argon : Nitrogen = 17 : 3. Proses pelapisan dilakukan dengan variasi waktu proses pelapisan (30 menit, 40 menit, 50 menit, 60 menit, dan 70 menit). Pengujian yang dilakukan yaitu uji metalografi (uji EDX). Uji EDX dilakukan untuk mengetahui komposisi hasil lapisan setelah dilakukan proses sputtering. Pelapisan dengan waktu 50 menit menghasilkan nilai kekerasan tertinggi, dengan kenaikan sebesar 34,75% dibandingkan nilai kekerasan logam dasar. Pengujian EDX terhadap lapisan tipis titanium nitrida diperoleh bahwa terdapat peningkatan unsur titanium pada permukaan lapisan. Peningkatan kandungan titanium akan berpengaruh terhadap peningkatan nilai kekerasan jika dibandingkan dengan material dasar (baja tahan karat AISI 410 tanpa perlakuan). Kata kunci: AISI 410, lapisan, EDX.

Metrik

  • 423 kali dilihat
  • 302 kali diunduh

Jurnal

Jurnal Penelitian Inovasi

Jurnal Penelitian Inovasi is an open access, peer-reviewed journal that publishes original resear... tampilkan semua